什么是TONiC？
TONiC是雷尼紹推出的超小型非接觸式增量式光柵系統(tǒng)，速度可達(dá)10 m/s，與Ti接口配套使用時，在線性和旋轉(zhuǎn)應(yīng)用中分辨率達(dá)1 nm。由于安裝公差大，并且只需按下按鈕即可進(jìn)行校準(zhǔn)，因此TONiC系統(tǒng)的安裝快捷簡單。TONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，而且電子細(xì)分誤差超低，通常小于±30 nm，從而有助于實(shí)現(xiàn)卓越的運(yùn)動控制性能。
TONiC UHV將增量式光柵技術(shù)引入低至10-10 Torr的超高真空應(yīng)用中，這類應(yīng)用要求在緊湊的外形中保持高性能。
柵尺選項(xiàng)
●直線柵尺用于提供直線位置信息 — 通常是X軸、Y軸或Z軸。
●圓光柵用于提供角度位置信息以及對旋轉(zhuǎn)元件進(jìn)行運(yùn)動控制。
帶碼道選項(xiàng)的不銹鋼鋼帶
細(xì)窄型不銹鋼鋼帶柵尺
ZeroMet直線硬柵尺
不銹鋼直線硬柵尺
鍍金鋼帶
不銹鋼圓光柵
超高精度不銹鋼圓光柵
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