為了應對產(chǎn)品微小化的趨勢,提高制造過程的精度和準度,勢在必行。只要精準度提高了,機器的產(chǎn)量和產(chǎn)值自然就會增加,所以業(yè)界流行一句話:“精度提高一倍,產(chǎn)品價格翻十倍”。
那提高精準度的關(guān)鍵在哪里呢?在制造過程中,傳動組件扮演著關(guān)鍵的角色,尤其像半導體行業(yè)等要求精密運動控制的領(lǐng)域,如果傳動組件精準度不夠,就會導致生產(chǎn)時的機械手臂或者導軌上的裝置,在移動時“差之毫厘”,導致組裝、加工的位置產(chǎn)生偏移,從而讓精度要求動輒在幾微米的生產(chǎn)過程“失之千里”,因此需要將誤差控制在微米等級。
例如XY滑臺在微距移動的實際應用中,常常因為真直度差而產(chǎn)生蛇行幅動的狀況,而真直度較差的來源可能包含組裝誤差、螺桿精度和校正手法。
XY滑臺只有移動軸的自由度,若導軌加工不良、組裝不良,會造成角度的誤差,從而機臺在組裝時造成空間誤差,所以必須量測出角度的誤差,知道誤差后就可以補償,進而降低誤差。
以高精度晶圓檢測為例,高精度晶圓檢測要求的精度很高,組件間的間距很小,但常因為硬件的限制,無法很有效地達到所需的精度,所以需要依靠2D誤差補償來做細微的調(diào)整。
凌華科技2D誤差補償技術(shù),如果使用者想要依據(jù)測量計算的結(jié)果補償X與Y方向的位置,需要先建立在對應的坐標上,對X軸向與Y軸向需補償?shù)奈恢弥?,并提供控制器相關(guān)的設(shè)定值,包含距離間距與補償。
開啟誤差補償功能后,控制器的軸控制命令中,輸出的位置命令會疊加需要補償?shù)奈灰屏?,以消除測量出的已知的誤差量。
現(xiàn)在能提供2D誤差補償技術(shù)的廠商并不多見,而在工業(yè)自動化運動控制領(lǐng)域深耕20多年凌華科技推出了2D誤差補償技術(shù),支持其高性能及高精確度的集中式運動控制器AMP-204C/208C,以及凌華APS Function Library通用函數(shù)庫,能大幅減少開發(fā)時間、加快上線速度,已應用于半導體、顯示器、傳統(tǒng)制造業(yè)等高精度運動控制場合。
如果您想要了解更多2D誤差補償技術(shù)和凌華的解決方案,可以下載下面的技術(shù)白皮書。
立即下載