日立FT160、FT160s、FT160L射線熒光鍍層厚度測量儀

日立主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1400VX、EA6000VX、EA8000VX、FT110A、FT160、FT160s、X-Strata92，其中FT160系列產(chǎn)品,搭載了性能X射線管，實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測定。對(duì)有段差的樣品也適用。

1. 高速測量：通過X射線檢測機(jī)的改良，對(duì)于極具代表性的Au、Pd、Ni、Cu（金、鈀、鎳、銅）多鍍層測量，相比以前機(jī)型，效率提高了2倍以上。

2. 對(duì)應(yīng)超小型的芯片零部件的厚度測量（FT160s：FT160s通過新時(shí)開發(fā)的聚光導(dǎo)管，可以測量超小型芯片零部件（電容、電阻等）的電極部的鍍層厚度測量。

3. 兼顧安全性和簡便性：采用防止X射線泄露的密集型框架和大開口且可以方便開啟和關(guān)閉的樣品門，兼顧安全性和簡便性?！窮T160s」可以對(duì)應(yīng)600×600mm的大型線路板。

X射線熒光鍍層厚度儀FT160、FT160s、X-Strata92是采用聚光X射線的聚光導(dǎo)管，可對(duì)微小部的鍍層厚度進(jìn)行高速測量的高性能儀器。通過X射線檢測儀器的改良，在線路板和連接器等使用的Au、Pd、Ni、Cu（金、鈀、鎳、銅）多鍍層檢測中，其測量速度與本公司以往機(jī)型（FT160，以下相同）相比，提高了2倍以上。在「FT160s」里通過新開發(fā)的聚光導(dǎo)管也可以測量超小型芯片零部件的端子鍍層厚度。而且跟以往機(jī)型相同，為操作員的安全和安心考慮，采用X射線泄露的可能性極小的密集型框架。新設(shè)計(jì)的樣品室門采用大開口，同時(shí)保證了開啟和關(guān)閉的便捷性。并且通過大型觀察窗口，可以方便地取放和定位樣品。另外，操作軟件通過圖標(biāo)和便捷畫面在提高了操作性的同時(shí)，可通過數(shù)據(jù)自動(dòng)保存功能減輕操作員的業(yè)務(wù)。通過這些改進(jìn)，「FT160s系列」實(shí)現(xiàn)了高精度迅速的鍍層厚度測量，為測量工作的效率化和成本削減做出了貢獻(xiàn)。  

日立FT110A型X射線熒光鍍層厚度測量儀

日立（主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1400VX、EA6000VX、EA8000VX、FT110A、X-Strata920、FT160、FT160s、FT160L）FT110A系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管，實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)極微小部分的測定。對(duì)有段差的樣品也適用。

1．FT110A搭載了50W高性能X射線管。

2．FT110A搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管（最小Φ15μm）。

3．容易對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。FT110A搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。

4．依據(jù)照明能很容易對(duì)以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。