生產(chǎn)多晶硅是一個(gè)提純過程，金屬硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅，再用氫氣進(jìn)行一次性還原，這個(gè)過程中有部分三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅，其余大量進(jìn)入尾氣，同時(shí)形成副產(chǎn)品四氯化硅，每生產(chǎn)一噸多晶硅，就產(chǎn)生4噸以上的四氯化硅廢液。在這個(gè)過程中，如果回收工藝不成熟，三氯氫硅、四氯化硅、氯化氫、氯氣等有害物質(zhì)極有可能外溢，存在重大的安全和污染隱患。
如上圖所示，這是幾個(gè)三氯氫硅以及四氯化硅混合液體的球罐，罐內(nèi)充滿了氮?dú)饣蛘邭錃狻?/div>
測(cè)量難點(diǎn)
1 待測(cè)介質(zhì)介電常數(shù)低，液面對(duì)雷達(dá)波的反射性差，四氯化硅的介電常數(shù)僅2.4，三氯氫硅的介電常數(shù)為3；混合液體的蒸汽彌漫在罐內(nèi)，也對(duì)雷達(dá)信號(hào)造成影響。
2 四氯化硅具有強(qiáng)腐蝕性，長(zhǎng)期使用，會(huì)對(duì)儀表探頭有一定的侵蝕作用，影響測(cè)量結(jié)果。
3 四氯化硅遇潮濕空氣即分解成硅酸和劇毒氣體氯化氫，對(duì)人體眼睛、皮膚、呼吸道有強(qiáng)刺激性，遇火星會(huì)爆炸；氯氣的外逸則可以使人出現(xiàn)咳嗽、頭暈、胸悶等病狀，并導(dǎo)致農(nóng)作物大面積減產(chǎn)和絕收，因此，該現(xiàn)場(chǎng)要求儀表密封性強(qiáng)，安全性高，并符合SIL2安全認(rèn)證。
4 安裝情況復(fù)雜，安裝接管有變徑，客戶還要求加裝球閥，給測(cè)量帶來了較大的挑戰(zhàn)。
VEGAPULS雷達(dá)的測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)
經(jīng)過與客戶的溝通，最終決定采用VEGAPULS雷達(dá)來進(jìn)行測(cè)量，克服了實(shí)際測(cè)量中的各種挑戰(zhàn)。
現(xiàn)場(chǎng)安裝示意圖
測(cè)量精準(zhǔn)可靠
如前文所述，球罐內(nèi)介質(zhì)復(fù)雜，介電常數(shù)低，且上口進(jìn)料的方式還會(huì)導(dǎo)致進(jìn)料時(shí)罐內(nèi)霧化嚴(yán)重，進(jìn)而影響測(cè)量。然而，VEGAPULS雷達(dá)卻能夠輕松應(yīng)對(duì)，該現(xiàn)場(chǎng)有效回波信號(hào)達(dá)到76.5dB，測(cè)量可靠性達(dá)到43.5dB。
特殊天線材質(zhì)，耐強(qiáng)腐蝕性
在此應(yīng)用中，我們采用了特殊天線材質(zhì)，其具有超強(qiáng)耐腐蝕性，有效防止腐蝕和滲透。錐形的天線，即使在有蒸汽霧化冷凝時(shí)，也能輕松應(yīng)對(duì)。
球閥安裝，保障操作人員生命安全
多晶硅行業(yè)用戶往往要求在儀表下方安裝球閥，在需要維護(hù)或者更換儀表的時(shí)候，能夠通過球閥輕松隔離罐內(nèi)的重大危險(xiǎn)源。VEGAPULS雷達(dá)可采用球閥安裝的方式，在不停作業(yè)的情況下更換儀表。
現(xiàn)場(chǎng)安裝示意圖
有效屏蔽虛假信號(hào)
VEGAPULS可避開變徑接管和球閥對(duì)雷達(dá)信號(hào)造成的影響，強(qiáng)大的軟件處理功能，能夠有效屏蔽和抑制虛假信號(hào)。
近年來，多晶硅產(chǎn)能大幅提升，同時(shí)工藝革新不斷涌現(xiàn)，帶來多晶硅品質(zhì)也不斷提升。但多晶硅生產(chǎn)過程中對(duì)測(cè)量?jī)x表的整體性能要求高，不僅要克服復(fù)雜的工況，保證測(cè)量精準(zhǔn)度，更要確保生產(chǎn)安全。VEGAPULS雷達(dá)經(jīng)過多年實(shí)戰(zhàn)檢驗(yàn)，測(cè)量穩(wěn)定可靠，為多晶硅的擴(kuò)產(chǎn)提質(zhì)提供有效保障。