臺(tái)灣某全球知名半導(dǎo)體公司擁有大量專業(yè)IC制造工廠，其中包含了許多加工工藝。該公司的產(chǎn)品主要包含各種各樣的IC芯片，如0.18mm邏輯芯片、混合信號(hào)芯片、模擬信號(hào)芯片、高電壓低功耗芯片、COMS RF芯片、Flash、嵌入式存儲(chǔ)器以及雙極性COMS DMOS (BCD) IC芯片。其中一個(gè)工廠每月8英寸晶片的產(chǎn)量約為55,000件。

半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程采用了大量化學(xué)物質(zhì)和氣體，其中不乏有毒物質(zhì)。因此，這些氣體必須得到有效的監(jiān)控，以確保工作人員和周圍居民的生命安全。而收集的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)用于向當(dāng)?shù)卣O(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)的環(huán)境報(bào)告當(dāng)中。公司需要搭建一個(gè)可靠的網(wǎng)絡(luò)來(lái)采集監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)并將這些數(shù)據(jù)傳輸?shù)焦S的監(jiān)控中心。用于氣體監(jiān)測(cè)的通信網(wǎng)絡(luò)必須具備可靠、無(wú)間斷的操作及斷線之后快速恢復(fù)通信的能力。

系統(tǒng)描述

半導(dǎo)體生產(chǎn)廠采用了一系列監(jiān)測(cè)儀來(lái)檢測(cè)有毒氣體。如氨氣、氧化劑、氫化物、酸性氣體、氰化物、硫化物以及PFC。監(jiān)測(cè)系統(tǒng)由CM4氣體監(jiān)控器、16氣體監(jiān)控器（ 由4組CM4組成）以及搜集溫度和氣壓參數(shù)的柜體組成。氣體監(jiān)控器使用數(shù)字信號(hào)和特殊信號(hào)在極短的時(shí)間內(nèi)偵測(cè)出滲漏。由于在指定的區(qū)域內(nèi)需要偵測(cè)不同類型的氣體，因此需要設(shè)備有不同的監(jiān)測(cè)等級(jí)。而監(jiān)測(cè)點(diǎn)遍布工廠的各個(gè)角落，這就意味著在惡劣的環(huán)境里網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)木嚯x、速度、可靠性和安全性顯得尤為重要。

該半導(dǎo)體工廠監(jiān)控系統(tǒng)的搭建選用了Moxa的產(chǎn)品：UC-7408嵌入式計(jì)算機(jī)用于數(shù)據(jù)采集并與SCADA系統(tǒng)進(jìn)行通信；EDS-508-MM-SC 8端口網(wǎng)管型交換機(jī)用于組建光纖骨干網(wǎng)并提供設(shè)備之間通信。EDS-508系列交換機(jī)通過(guò)了Class 1，Div.2危險(xiǎn)區(qū)域（包括易燃、易爆氣體、液體和蒸汽）認(rèn)證，適用于苛刻的工廠環(huán)境當(dāng)中。EDS-508系列交換機(jī)組建的Turbo Ring具備易于升級(jí)、穩(wěn)定性高、永不斷線、高速、恢復(fù)時(shí)間短以及長(zhǎng)距離傳輸?shù)奶攸c(diǎn)。如今，整個(gè)工廠的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)都可以同時(shí)被傳輸?shù)奖O(jiān)控中心，監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)采集更加可靠和有效。